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高精度光刻曝光机

高精度光刻曝光机是全球领先的掩模对准曝光机,Mask aligner,是光掩膜板和硅片对准的紫外曝光机。它支持高精度掩模运动,具有光刻机精密光学对准系统,高精度光刻曝光机是光刻应用中非接触高精度光刻曝光机的领军性产品.
型号:
FPMIC-Maskaligner
品牌:
辅光
价格:
¥0.00
类别:
在线客服邮箱 info@f-lab.cn 服务热线 021-5130 0728 您也可网站留言或在线客服留言垂询,辅光仪器-规模型进口精密科学仪器供应商欢迎您!

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高精度光刻曝光机是全球领先的掩模对准曝光机,Mask aligner,是光掩膜板和硅片对准的紫外曝光机.它支持高精度掩模运动,具有光刻机精密光学对准系统,高精度光刻曝光机是光刻应用中非接触高精度光刻曝光机的领军性产品.
非接触型光刻曝光机(MSMA-1200M)
高精度光刻曝光机特点
光刻曝光机可用于直径达6英寸的晶圆片。
“用于多产品生产领域的研究和发展”。
“前沿技术”。
采用完全非接触式掩模对准系统。
掩模对准时不会损坏掩膜和晶圆。
间隙精度显著提高。
电脑监控采用交互式操作。
根据“辅助线”可以进行高精度定位。
掩模对准曝光机SMA-600M是用于研发和多种产品生产领域的手动紫外曝光机,采用了清晰的光学系统和完全非接触式校准装置。通过接触或靠近模式,晶圆曝光可达150mm。该紫外曝光机系统对于各种电子设备,例如化合物半导体的LD,LED,和微型机械的制造过程,包括压力传感器等来说,是最适合曝光过程的高精度光刻曝光机
桌面型高精度光刻曝光机(MEMA-800)
特点
经济型,紧凑型和高级别性能的光刻机
视图中聚焦图像可看到两个校准标记。
曝光用集成镜头。
LED照明灯
高精度光刻曝光机应用
(研发中心和大学的微机械发展)
驱动器,压力传感器,加速度传感器,电力设备等。
用于倒装芯片/ BGA/ CSP的曝光。
用于光学/高速通信组件的曝光。
高精度光刻曝光机规格
Alignment Scope
目标分离 15 ~ 75mm
总放大倍数 100X
观察用的照明灯 红色 LED (l=633 nm)
工作台的X,Y轴的移动范围 ±5 mm
调整 ±5°
Utility
主机和汞灯的电源 AC 100V 50/60Hz 15A
真空源 低于 21.3 Kpa (从大气压到-80 Kpa )
Exposure Unit
镜头 集成镜头
汞灯 250W 超高压蒸汽汞灯
有效曝光区域 最大 100 mm
强度分布 ±5% 或更少
照明强度 20 mW/cm2 (405 nm)
曝光时间控制 数字定时器和旋转电磁阀
汞灯照明单元 AC 110V

Double View Mask Aligner双视野高精度光刻曝光机

MPEM-16M
(适用于直径达4英寸的晶圆)
MPEM-12M
(适用于直径达6英寸的晶圆)
MPEM-1600
(适用于直径达8英寸的晶圆)
   
MPEM系列高精度光刻曝光机是高精度双视野紫外曝光机,包括在顶部的对准光学系统和在底部的晶圆,因此装顶部表面可进行接触、软接触和接近图案,在底部晶圆可校准图案。高分辨率光学系统,在顶侧和底侧安装了对称的10X物镜,因此可精确对准以掩模和晶圆。成对的物镜之间的间隔距离可以调节,所以可以自由地对准不规则形的晶圆。
* 除了上述这些,还有机动型MPEM-2000/4000和全自动型MPEM-8M/12M 。
更多详情浏览:http://www.f-lab.cn/plasma.html
掩模对准光刻机规格

  MPEM-1600 MPEM-12M MPEM-16M
光掩模尺寸 最大 5-英寸 最大7-英寸 最大9-英寸
晶圆尺寸 最大达4英寸(非结晶型) 最大达6英寸(非结晶型) 最大达8英寸(非结晶型)
掩模固定座滑动 手动夹盘
掩膜运动 X=±3 mm, Y=±3 mm
e曝光 方法 软接触/硬接触/接近曝光    
照明 250W超高压汞蒸汽灯 500W超高压汞蒸汽灯
不规则照明 ±5%
有效曝光区域 直径100 mm O   直径150 mmO  直径200 mmO
分辨率 3mµ L/S
对准 方法 由目镜观察(精神领域系统) 9英寸的监控器系统
物镜镜头 10X 两对(更高/更低)
目镜 NWF 10X (一对) -
总放大倍数 100X 200X
物镜分离距离 15 ~ 90 mm 80 ~ 140 mm 55 ~ 184 mm
聚焦单元 手动
对准范围 X, Y = ±4mm
? = ±22.5°
X, Y = ±4mm
? = ±5°
对准间隔 09 ~ 99µm
对准精度 少于 ±5mm
一次性用具 主机电源 100-220V AC, 50/60Hz, 15A (600W)
汞灯电源 100-220V AC, 50/60Hz, 15A (550W) 100-220V AC, 50/60Hz, 15A (1,100W)
氮气 0.4 ~ 0.5 Mpa 100-220V AC, 50/60Hz, 15A (1,100W)
真空压力 少于 21.3kPa
(从大气压到-80kPa )
尺寸(主机) 750(宽)x
820(深)x
1,700(高)mm
940(宽)x
860(深)x
1,670(高)mm
1,200(宽)x
1,090(深)x
1,800(高)mm
净重 约,450 kg 约,550 kg 约,700 kg
选项 NWF 15X 目镜(一对) 
9英寸TV 监控系统(黑色和白色)

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