纳米喷铂仪

纳米喷铂仪LUXORPt是一种高度创新的全自动溅射喷铂仪器,可在1~100nm的厚度范围内涂覆细颗粒铂或金涂层。
纳米喷铂仪独特的A²技术确保以高度可控和精确的方式喷涂金或铂，从而形成极其均匀、薄且均匀的涂层。
纳米喷铂仪可以让你的扫描电子显微镜显示出zuihao的图像质量。

由于溅射镀膜机的xianjin设计，涡轮分子泵——传统上是任何高分辨率铂镀膜机的一个复杂而脆弱的部件——不再需要。相反，纳米喷铂仪LUXORPt采用了高效、坚固的双级泵。
纳米喷铂仪LUXORPt溅射金属镀膜机主要用于（FEG）扫描电镜成像应用，放大倍数高达1000000倍，其中样品充电是一个问题。纳米喷铂仪LUXORPt确保SEM样品的涂层只有几纳米的铂或金，颗粒尺寸非常小。这会产生清晰的SEM图像。纳米喷铂仪的设计目的是改善二次电子发射，使显微镜的探测器能够获取*多高分辨率成像细节。zui后，减少的光束穿透提高了边缘分辨率，并防止敏感样品受损。
纳米喷铂仪规格参数
用空气或氩气涂覆铂或金
zui大容量：7 xØ12.5 mm或3 xØ25 mm短桩
平均涂层时间：4-5分钟（分别基于2纳米或4纳米铂涂层）
平均涂层时间：5分钟（基于10纳米金涂层）
真空干燥模式
低能双级泵
真空和干燥模式：7Pa至150Pa（可连续选择）
金/铂层厚度：1至100纳米（连续可选）
处理时间：1至600分钟（可连续选择）
工艺室：硼硅酸盐玻璃Ø100 mm x 150 mm高
内爆防护罩：120毫米×150毫米高
真空接头：DN 16 KF
气体供应：空气或氩气（0.6巴）
尺寸：340 x 340 x 290（毫米，宽x深x高）
重量：12.5公斤